Slurry Distribution Units

Wat is dit?

Een Slurry Distribution Unit (SDU) wordt gebruikt om slurries naar CMP-procestoestellen te pompen. Een SDU kan een slurry verdunnen of deze mengen met chemicaliën in eender welke gewenste verhouding. Doseerpompen, niveausensoren, brekingsmeters en weegcellen controleren de samenstelling.

Waarom een SDU gebruiken?

Een veilige en eenvoudige manier om slurries naar de CMP machine te krijgen

Dankzij onze toepassing van hoogwaardige polymeren (bijv. dubbelwandige PFA buizen) kan bijna elke soort slurry langs de proceslijnen verdeeld worden. Via verdeelboxen kunnen de vloeistof naar de verschillende CMP-toestellen geleid worden. Het ontwerp van de SDU is geoptimaliseerd en voorkomt dat slurries de buizen, vaten of afvoerleidingen verstoppen. Onze SDU's zijn altijd in een omkasting gebouwd die de omgeving afschermt van het onder druk staande leidingsysteem.

Chemische zuiverheid blijft onder ppb niveau 

We kunnen de onzuiverheid onder de 150 ppt houden voor metalen en ionen verontreiniging. We gebruiken hoog zuivere PFA of PTFE voor de leidingen, kleppen,  pompen en Flaretek koppelingen. Bovendien verzekeren wij een minimum aan dode ruimtes om zo de interferentie met hoge-zuiverheid chemicaliën te beperken.

Eenvoudige toegang tot en bediening van uw apparatuur

PLC en HMI (touch panels) voorzien een eenvoudige toegang en bediening van de apparatuur. De visualisering van de P&ID geeft een overzicht van de status van de machines. Het proces, slurry verbruik, pomp monitoring, druk en veel meer kan gemonitord worden om het productieproces te optimaliseren. 

Onze opties

Al onze Slurry Distribution Units zijn op maat gemaakt, gebaseerd op de wensen van onze klanten.

Wij ontwerpen en vervaardingen buffertanks en mengvaten in een breed assortiment polymeren (e.g. in PP natural, PVDF, ECTFE (Halar™), PFA) in overeenstemming met uw specifieke chemische behoeften.

Wij hebben ervaring in het ontwerpen en bouwen van installaties voor zuren en basen met een pH die varieert van 0 tot 14. Bijvoorbeeld (maar niet beperkt tot): HCl, H2SO4, HF, NH4OH, H202.

Als het materiaal in jouw clean room FM4910 gecertificeerd moet zijn dan gebruiken we Corzan® 4910 CPVC en PVDF. Dit zijn kunststoffen met een uitstekende chemische resistentie tegen een brede waaier van chemicaliën. Deze kunststoffen zijn gespecificeerd, getest en vermeld onder de Factory Mutual Research Corporation Test Standard for Clean Room Materials (FM4910).