Semicon & hoge zuiverheidscomponenten

Wat is dit?

Wij ontwerpen en produceren een breed aanbod aan componenten en procesapparatuur met een hoge zuiverheidsgraad voor de halfgeleiderindustrie – allemaal op maat ontworpen om te voldoen aan de behoeften van onze klanten.

Waarom componenten met een hoge zuiveringsgraad gebruiken?

Chemische zuiverheid blijft onder ppb levels

We kunnen de onzuiverheid onder de 150 ppt houden voor metalen en ionen verontreiniging. We gebruiken hoog zuivere PFA of PTFE voor de leidingen, kleppen, pompen en Flaretek koppelingen. Bovendien verzekeren wij een minimum aan dode ruimtes om zo de interferentie met hoge-zuiverheid chemicaliën te beperken.

Weerstand tegen chemie en warmte 

Kunststofmaterialen worden geselecteerd om zowel te voldoen aan de hoge zuiverheidseisen als ook voor hun chemische resistentie en warmteweerstand. PFA, PTFE, ECTFE, FEP, PVDF, PP, POM, PEEK, en C-PVC worden het meest gebruikt hoewel we ook werken met FM4910 goedgekeurde materialen om aan specifieke veiligheidsstandaarden te voldoen. 

Onze opties

Ons productaanbod voor de halfgeleiderindustrie omvat, maar is niet beperkt tot:

Wafer handling and inspection tools:            

- Wafer tweezers and handlers            

- Wafer cassettes

- Wafer trays         

- Cassette inserts 

Process equipment:

- Chemical Distribution Units (CDU)

- Slurry Distribution Units (SDU)

- Wet benches for acid and caustic etching or cleaning processes

- Wet benches for solvent processes

- Chemical waste collection and handling equipment

- Quick dump rinse baths

- Laminar flow cabinets

- Chemical mixing and pumping stations

- Chemical blending equipment

Machine Parts:

- Turntables

- N2 wet blanketing with bubblers

- Process tanks with heating, cooling, recirculation, and filtering

- Ultrasonic cleaning

- Mix tanks and vessels

- Rinse baths

- Quick dump rinse baths

- Valve manifolds

- Sensor housings

- Drum connectors and dip tubes